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工艺由以下部分组成：预处理、二级反渗透（DRO）、连续电除盐（EDI）、紫外线杀菌（UV）、抛光混床（MB）、终端微滤（MF）。
超纯水设备预处理部分由多介质过滤器、活性炭过滤器和全自动软水器、加药装置等组成。
超纯水设备RO反渗透：是一种低能耗、高效率的膜分离技术，主要应用于纯水制备、浓缩提取及海水淡化。反渗透技术是利用压力差为动力的膜分离过滤技术，通过膜的选择型将H2O与水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质分离。
超纯水设备EDI：是一种将离子交换技术和电渗析技术相融合为一体的先进技术，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，系统通过直流电场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过以及离子交换树脂对离子的交换作用，加上水分自生电解成H+ OH-来完成树脂连续不断的自动再生，从而完成水的深度除盐，系统无需停机使用酸碱再生树脂，从而能连续制取高品质纯水。
超纯水设备混床：是将阴、阳树脂按一定比例（一般2:1）装置填在同一交换器中，运行前将它他混合均匀。此时当原水通过混合离子交换床后，所产生的氢离子和氢氧根离子立即生成溶解度很低的水。作为工艺终端超纯化装置，可将终端出水电阻率提升到18MΩ.㎝以上，满足用户高品质用水需求。
